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Micro electro mechanical systems

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) signifie en français Micro Systèmes ElectroMécaniques. On utilise également le terme Microsystèmes.

Cet article de science fait partie de la série physique

Bases

histoire - théorie

optique - onde - matière

astronomie - atome - nucléaire

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électricité - électronique

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Méta

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Les MEMS sont des structures comprenant un ou plusieurs élément(s) mécanique(s), utilisant l'électricité comme source d'énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur et/ou d'actionneur. Issus de la technologie de la micro-électronique, ils font appel pour leur fabrication aux microtechnologies, qui permettent une production à grande échelle. Ils sont utilisés dans des domaines aussi variés que l'automobile, l'aéronautique, la médecine, la biologie, les télécommunications, et depuis 2003 dans certains vidéoprojecteurs et téléviseurs haute-définition.

Les microsystèmes ont été développés au début des années 1970 en tant que dérivé de la micro-électronique, leur première commercialisation remonte aux années 1990. Les MEMS sont encore en plein essor.

C'est un domaine de recherche relativement récent qui combine l'utilisation des techniques électroniques, informatiques, chimiques, mécaniques, optiques. Les microsystèmes sont le plus souvent à base de silicium, mais on utilise également d'autres matériaux suivant leurs propriétés pour certaines applications, comme les métaux, les matériaux piézoélectriques, divers polymères, etc.

Dans certains domaines, on utilise des termes dérivés pour désigner des MEMS spécialisés. Par exemple, dans le domaine optique on utilise le terme MOEMS, alors que dans le domaine biologique on utilise bioMEMS.