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La microscopie électronique en transmission (MET) (en anglais transmission electronic microscopy - TEM)
est une holographie en ligne Gabor.
Elle consiste à placer un échantillon suffisamment mince sous un faisceau d'électrons utilisé en faisceau cohérent, et de visualiser soit l'hologramme obtenu qu'est la figure de diffraction dans le plans focal de l'objectif, soit d'utiliser une autre lentille pour obtenir la figure transformée de Fourier de la figure de diffraction observable par l'impact des électron sur un écran fluorescent ou de l'enregistrer sur une plaque photo.
D'une part, les électrons sont plus ou moins absorbés par la matière, on a donc un contraste qui varie selon l'épaisseur, la densité de la matière et la nature chimique des électrons.
C'est ce principe qui est utilisé en biologie, pour observer des cellules ou des coupes minces d'organes.
D'autre part, les électrons se comportent comme une onde de Broglie(ceci est
modélisé par la physique quantique). Lorsqu'ils rencontrent de
la matière organisée (des cristaux), ils vont donc être diffractés,
c'est-à-dire déviés dans certaines direction dépendant de l'organisation des atomes. Le faisceau est diffracté en plusieurs
petits faisceaux, et ceux-ci se recombinent pour former l'imag, grâce à des lentilles magnétiques (électro-aimants qui
dévient les électrons). 
schéma du microscope électronique en transmission
Les échantillons sont sous la formes de lames minces, et sont placés sous ultravide. En biologie, la lame mince s'obtient en faisant une coupe (microtome). En métallurgie, elle s'obtient par un découpage minutieux (par exemple avec une la scie à fil diamanté), puis un amincissement ; La technique la plus courante consiste en phase finale à faire un cratère, un trous traverse la lame de part en part, et l'on regarde les bords minces du trou. Une technique de microcleavage a permit d'obenir des profil de multicouches: Microcleavage transmission electron microscopy applied to the interfacial structure of multilayers and microstructure of small particles on a substrate
La limite de résolution dépend de la longueur d'onde de De Broglie des électrons, donc de leur tension d'accélération, elle est de l'ordre de grandeur de quelques Ångstrom.
Une faute de français courante consiste à dire « microscope électronique à transmission » (confusion avec le « microscope électronique à balayage »)) ; cette erreur est fréquente dans le milieu scientifique, et même dans des livres ! C'est bien un microscope en transmission (on observe l'échantillon en transparence, en transmission).
| Sommaire |
En microscopie électronique, l'illumination des échantillons est faite au moyen d'électrons. La source d'électron est appelée canon ou cathode. Il en existe de plusieurs types. Selon les systèmes, le faisceau d'électrons sera plus ou moins cohérent, c'est-à-dire que les électrons seront plus ou moins en phase. Un faisceau cohérent augmente la résolution des images.
Une pointe de métal en forme de V est chauffée à haute température. Ainsi les électrons présents dans le métal se déplacent très vite. Une fraction des électrons arrive tellement à l'angle du V qu'ils sont éjecté du métal. Simultanément un champ électrique de l'ordre de grandeur de 100 kV est appliqué. Les électrons qui sont sortis du métal sont accéléré par le champ électrique en direction de l'échantillon. D'une manière générale le canon à chauffage ne donne pas un faisceau très cohérent. Cela est dû au fait que la vitesse et donc l'énergie cinétique des électrons émis suivent une distribution gaussienne. Il en découle une aberration chromatique.
Il existe des filaments en tungstène et en hexaborate de lanthanum. Ces derniers sont beaucoup plus chers mais fournissent une meilleure cohérence.
Ce canon consiste également en une pointe de tungstène cristallin extrêmemet acérée. Elle n'est pas chauffée mais en revanche un champ électrique important est appliqué (2 à 7 kV). De ce fait, les électrons émis ont une variabilité énergétique très faible. Donc le faisceau est très cohérent.
Le vide présent dans ce genre de microscope doit être extrêmement poussé. Si ce n'est pas le cas, la pointe du canon chauffe très fortement et se casse. Cette exigence particulière fait des FEG des machines très coûteuses et délicates.
L'écran est placé dans le plan image. On observe une image agrandie de l'objet. Ce mode est surtout utilisé pour observé des objets principalement irréguliers, des cellules biologiques par exemples.
Ce mode est un mode en champ clair optimisé pour l'observation d'échantillons sensibles aux électrons. Il est indispensable à l'étude d'échantillons biologiques observés dans un état hydraté congelé. Il permet d'irradier au minimum la zone de l'échantillon que l'on veut micrographier. Le principe de ce mode est le suivant. À faible grossissement (environ 5000x) on sélectionne une zone d'intérêt dans l'échantillon. À ce grossissement on n'irradie que très faiblement l'objet (la dose électronique est proportionnelle au carré du grossissement). À partir de ce positionnement la zone d'exposition et la zone de mise au point sont définies. Elles sont distantes de quelques micromètres l'une de l'autre. La mise au point nécessite d'irradier l'échantillon pendant une durée de plusieurs secondes au grossissement final (typiquement 40'000x). Cela détériore l'échantillon et c'est pourquoi on le fait à une certaine distance de la zone d'exposition. Cette dernière zone n'est irradiée au grossissement final que le temps d'enregistrer une micrographie (environ 1 seconde).
Au lieu de s'intéresser à l'image formée, on peut s'intéresser à la diffraction des électrons ; on se place dans le plan focal du faisceau et non plus dans le plan image (simplement en changeant la tension dans les lentilles électro-magnétiques), on obtient alors la figure de diffraction, semblable aux clichés de Laue obtenus en diffraction de rayons X. On peut ainsi visualiser les direction dans lesquelles vont les électrons et ainsi caractériser les cristaux (organisation des atomes, orientation...).
En sélectionnant un faisceau diffracté particulier pour former l'image, on obtient un contraste dit en « champ sombre » (dark field) ; selon l'orientation locale d'un cristal, celui-ci laisse passer les électrons en ligne droite, on a donc un contraste clair, ou bien il dévie les électrons et l'on a un contraste sombre.
Supposons que, pour un cristal, le faisceau soit presque en conditions de diffraction. Le faisceau n'est pas dévié, il traverse donc le cristallite sans encombre, celui-ci apparaît clair. Si maintenant la maille est localement distordue par un défaut (par exemple une dislocation), alors le faisceau se trouve localement en condition de diffraction et est dévié. Cette zone de défaut apparaît sombre.
Certains électrons sont déviés (diffractés), d'autre sont transmis en ligne directe. Si l'on fait interférer un faisceau transmis en ligne directe avec un faisceau diffracté, on va obtenir une figure d'interférence. Cette figure d'interférence est une image du potentiel périodique créé par les atomes ; les taches claires correspondent aux positions des atomes.
On peut ainsi visualiser directement l'organisation des atomes, alors que dans le cas d'une figure de diffraction, il faut interpréter cette figure pour avoir l'organisation. On voit donc les défauts : joints de grain, dislocations... Cependant, il ne s'agit pas à proprement parler d'images d'atomes, mais d'une projection du potentiel créé par ces atomes.
Cette technique, aussi appelée STEM (scanning transmission electron microscopy) consiste a donner un mouvement de balayage au faisceau. Le principal avantage est de pouvoir faire une analyse élémentaire des rayons X émis par les atomes sous l'effet des électrons (voir l'article microsonde de Castaing pour plus de détails), et ainsi dresser une cartographie chimique de la partie analysée.
Si le microscope électronique en transmission était parfait, sa résolution serait de l'ordre de grandeur de la longueur d'onde des électrons. Pour des électrons accélérés à environ 100 kV, elle serait de l'ordre du picomètre (10-12m). Cependant l'optique électronique est bien moins efficace que l' optique photonique. La résolution pratique est de quelques Angström
Lorsqu'un électron traverse une lentille il subit un changement de direction. l'ampleur de la déviation dépend de la longueur d'onde de ce dernier (c'est-à-dire de son énergie, sa couleur). Or les électrons composant le faisceau ne possèdent pas tous la même longueur d'onde. On dit que le faisceau n'est pas monochromatique. De ce fait, l'image d'un point ne sera pas un point mais un disque.
Le faisceau n'est pas monochromatique pour deux raisons. Premièrement, au niveau du canon, les électrons émis ont une énergie qui varie autour d'une certaine valeur (varation chromatique). Deuxièmement, au moment où il traverse l'échantillon, un électron du faisceau peut subir des chocs inélastiques avec des électrons composant l'échantillon. Dans ce cas l'électron du faisceau perd de l'énergie.
L'angle de déviation des électrons est également proportionnel à la distance entre le centre de la lentille et l'endroit où
les électrons traversent cette lentille. Mais la relation n'est pas linéaire et les électrons qui passent loin du centre de la
lentille sont trop déviés et par conséquent focalisés en avant. 
Schéma de l'aberration sphérique


