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Pompe à vide

Le but d'une pompe à vide est d'extraire l'air ou un autre gaz contenu dans une enceinte afin d'y faire baisser la pression.

Le vide « parfait » n'est jamais atteint.

Il existe différents types de pompes à vide, pour atteindre différentes gammes de pression.

On distingue 4 domaines de vide pour décrire sa qualité, soit la quantité de matière restante par rapport à un volume. Le vide est mesuré en [Pa] (Pascal) (unité du système international) ou plus couramment dans l'indutrie en [mbar] (millibar) ou en [Torr].


Domaine de vide Pression en hPa molécules par cm3 libre parcours moyen d'une molécule
Vide primaire ou industriel 1000 - 1 1019 - 1016 0,1 - 100 μm
Vide moyen 1 - 10-3 1016 - 1013 0,1 - 100 mm
Vide poussé 10-3 - 10-7 1013 - 109 10 cm - 1 km
Ultravide 10-7 - 10-12 109 - 104 1 km - 105 km
Ultra-ultravide ab 10-12 <104 >105 km


Les pompes les plus courantes sont - pompes à palettes (lubrifiées ou sèches), pour vide primaire - pompes à piston,, pour vide primaire - pompes à anneau liquide, pour vide primaire - pompes à membrane, pour vide primaire - éjecteurs à vide - pompes turbomoléculaires et moléculaires, pour vide secondaire - pompes à diffusion, pour vide secondaire - pompes roots, pour vide secondaire


Pompes à palettes

Elles comportent un stator et un rotor excentré par rapport au stator.


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